微波酸蒸清洗器通過內置可控溫的加熱系統加熱酸，在亞沸狀態下產生高純酸蒸氣，對痕量分析所使用的各種微波消解罐，各種常壓消解罐，玻璃器皿（試管、燒杯、容量瓶等），石英材質實驗容器以及ICP霧化室和火焰管等進行亞沸熏蒸，清除器皿表面所有可溶于酸的任何痕量金屬污染物。一般清洗時間1-4小時左右，適用氫氟酸、鹽酸、硝酸、硫酸和水等多種試劑。